Zeiss Semiconductor Manufacturing Technology는 2022년 착공 4년 만에 이번 달 첫 완공 건물로 직원들이 이동함에 따라, 독일 남부 Oberkochen에 약 25,000제곱미터 규모의 생산 및 생산 인접 공간을 추가한다고 확인했습니다. 나머지 건물들은 단계적으로 인도될 예정입니다. Oberkochen과 Wetzlar는 ASML의 리소그래피 (Lithography) 스캐너 내부 광학 컬럼 (Optical columns)을 제작할 수 있는 세계 유일의 두 장소이며, ASML의 자체 연례 보고서에 따르면 생산 가능한 시스템의 수는 Zeiss SMT의 생산 능력에 의해 제한됩니다. ASML은 이달 초 투자자들에게 2027년까지 Low-NA EUV 생산량을 약 30% 늘릴 계획이라고 밝혔습니다.

ASML의 2025년 연례 보고서는 Carl Zeiss SMT를 독점 계약에 따른 렌즈 (Lenses), 거울 (Mirrors), 조명기 (Illuminators), 수집기 (Collectors) 및 기타 핵심 광학 부품의 유일한 공급업체로 설명하고 있습니다. 만약 Zeiss가 장기간 생산을 유지하지 못할 경우, ASML은

ASML의 CFO인 Roger Dassen은 7월 실적 발표(earnings call)에서 2027년용 Low-NA EUV 물량이 거의 예약 완료(fully booked) 상태에 가깝다고 밝혔습니다. 또한 올해 약 65대의 시스템에서 생산량을 약 30% 늘리고 있으며, 2028년을 위해 추가로 30%를 더 늘리는 방안을 검토 중이라고 말했습니다. 그는 같은 날 기자들에게 회사가 스캐너 제작 주기(build cycle)를 약 22주에서 15~16주로 단축하고 있다고 전했습니다. ASML은 Low-NA EUV 장비 가격 인상을 계획 중인 것으로 알려졌으며, 이는 보도에 따르면 TSMC를 불쾌하게 만든 것으로 전해집니다.

High-NA 투영 광학계(projection optics)는 40,000개 이상의 부품을 포함하며 무게는 약 12톤에 달하는데, 이는 표준 EUV 광학계의 부피와 무게보다 약 7배 큰 수치입니다. 조명 시스템(illumination system)은 여기에 25,000개의 부품과 6톤의 무게를 더합니다. 개별 High-NA 거울(mirrors)은 무게가 수백 킬로그램에 이르며, 이는 현재 EUV 거울보다 크기는 약 2배, 무게는 약 10배에 달합니다. Zeiss는 이 거울들이 요구되는 수치에 도달하기 전까지 수개월 동안 정밀 가공(machined)된다고 설명합니다. 이를 검증하기 위해서는 100,000개 이상의 부품으로 구성되고 150톤이 넘는 무게를 가진 5x10미터 크기의 전용 진공 챔버(vacuum chamber)가 필요합니다. Intel은 이번 달 0.55 NA 스캐너를 통해 대량의 로직 칩을 출하한 첫 번째 기업이 되었습니다. 작업장 면적을 넓히는 것이 이러한 단계들을 단축해주지는 않습니다.

ASML은 2025년 말 기준으로 Zeiss SMT로부터 받을 대출금(loans receivable) 19.1억 유로를 보유하고 있으며, 이는 전년도 14.4억 유로에서 증가한 수치입니다. 이와 함께 광학 컬럼(optical column) 인도를 확보하기 위해 지급한 선급금(advance payments)은 11.9억 유로에 달합니다. 2021년 9월과 2024년 9월에 체결된 10억 유로 규모의 시설 지원이 마련되어 있으며, ASML은 2025년 7월에 4.44억 유로의 추가 대출을, 11월에는 2.125억 유로의 단기 대출을 실행했습니다. 2025년 5월에 개정된 회사의 기본 계약(framework agreement)에 따라 자본 지출(capex) 대출은 무이자로 전환되었으며, 상환은 7년 또는 15년에 걸쳐 이루어질 예정이고, Zeiss SMT의 매출에 따라 변동되는 분기별 분할 상환 방식으로 계획되었습니다.

Zeiss SMT는 2025년 9월 30일로 종료되는 회계연도에 50.55억 유로의 매출을 기록하며 23% 성장하였으며, 이는 Zeiss 그룹의 4개 부문 중 가장 큰 규모입니다. 또한 Wetzlar에 다기능 공장(multifunction factory)을 건설 중이며, 지난 가을 Rossdorf에 300제곱미터의 클린룸(cleanroom)을 추가했고, 이번 달 한국에 혁신 센터(innovation center)를 개소했습니다.